高功率激光器件

公司致力于“高功率光纤激光器件、高功率固体激光器件、高功率半导体激光器件、高功率化学激光器件”地研发和技术攻关;深究不同损伤机理,在超低吸收高损伤阈值薄膜技术超光滑表面处理技术达到先进水平,凭借先进的抛光技术,为航天、航空、环境、医疗和生命科学提供从材料到光学成品的整体解决方案。

  • 公司开发的独特复合镀膜工艺,可为高功率激光应用提供抗高损伤阈值方案:

     

    高功率光纤激光镀膜工艺> 20KW

    高功率固体激光器镀膜工艺> 1MW

    高功率半导体镀膜工艺> 10KW

    高功率化学激光器镀膜工艺> 10MW

     

  • 针对不同基底材料,公司开发出的一整套超光滑表面处理工艺,可控制表面疵病,减少杂质对晶圆的污染和提高激光器件的抗损伤能力。加工后表面平整度可低于10nm,粗糙度可优于0.2nm,光洁度为10-5。

准分子高功率激光器件加工及镀膜

 

193~375nm Excimer High Power Laser Films

公司开发了部分深紫外准分子激光膜

典型数据:

R≥98%@193 nm

R≥99%@248 nm

R≥99%@308 nm

R≥98%@351~353 nm

损伤阈值>1.3J/cm²@193nm

通过美军标passed:MIL-C-48497A,MIL-675C

精密光学