半导体
公司结合独特的工艺，使制造出的半导体配件具有坚固耐用、耐高温、耐腐蚀性气体特点，有助于延长半导体使用寿命和低的颗粒污染从而提高半导体生产良品率。
公司提供以下半导体核心器件
CCP膜层工艺
ICP膜层工艺
TSV膜层工艺
MOCVD膜层工艺
UPAM 提纯工艺可将半导体材料及薄膜材料提纯到5N
窗口 Window
进气喷嘴 Nozzle
喷淋头 Shower Head
支架 Top/Middle Chamber
内衬 Chamber Liner/Outer Liner
内门 Liner Door
石英 Quartz Ring
蓝宝石窗口 Sapphire window
镀金套筒 Gold Sleeve
支撑环 Edge Ring
反射板 Reflector Plate
Si外延石墨托盘基座：12寸/8寸/6寸
镀金反射腔组件
晶舟：6寸 SiC 晶舟
炉管
清洗架：PFA石英支架
各类耐气体腐蚀器件
碳化硅涂层石墨基座 ：Susceptor Graphite SiC Coated
公司提供以下半导体配套服务
如需了解具体产品，请联系我们。
